CFD

ANSYS Fluent による CVD/ALD などの半導体プロセスを想定した非定常ガス流解析向けに、プロセスレシピに基づいて質量流量と各ガス化学種の質量分率の時間変化を記述した境界条件入力ファイルを出力する Excel プログラムを作成...