構造力学

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弾性体のフックの法則

弾性体のフックの法則についてのまとめです。一般化されたフックの法則 (Generalized Hooke's law)応力成分が歪み成分の1次関数となる一般的な線形弾性材料の構成則は以下の一般化されたフックの法則で表されます。\応力テンソル...
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Timoshenko のバイメタル変形理論:弾性エネルギー最小化による導出

こちらの記事 では Timoshenko のバイメタルの変形に関する式が、4つの条件、(1) 膜と基板の曲率が同じ、(2) 界面での歪みが連続、(3) 軸力のつり合い、(4) モーメントのつり合い、から求められることをまとめました。ここでは...
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Stoney の式

半導体基板の反りの測定値から膜応力を求めるのによく使用される Stoney の式の導出をまとめました。また本理論に基づいて界面にミスフィット歪み(真性歪み)のある膜と基板の内部の歪み・応力、および、反り量を計算するエクセルシートを作成しまし...
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Timoshenko のバイメタル変形理論

Timoshenko のバイメタルの変形に関する式の導出をまとめました。また本理論に基づいて膜と基板の線膨張係数差による界面のミスフィット歪みによる材料中の歪み・応力・反りを計算するエクセルシートを作成しました。Timoshenko のバイ...
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初等梁理論(Elementary Beam Theory)

ベルヌーイ・オイラーの仮定に基づく初等梁理論による軸力と曲げモーメントが働いている梁の歪み・応力の式の導出をまとめました。ベルヌーイ・オイラーの仮定平面保持:梁の軸線に垂直な断面は曲がった後も平面のまま変化しない法線保持:梁の軸線に垂直な断...