構造力学 Timoshenko のバイメタル変形理論：弾性エネルギー最小化による導出
こちらの記事 では Timoshenko のバイメタルの変形に関する式が、４つの条件、(1) 膜と基板の曲率が同じ、(2) 界面での歪みが連続、(3) 軸力のつり合い、(4) モーメントのつり合い、から求められることをまとめました。ここでは...
構造力学 構造力学 Stoney の式
半導体基板の反りの測定値から膜応力を求めるのによく使用される Stoney の式の導出をまとめました。また本理論に基づいて界面にミスフィット歪み（真性歪み）のある膜と基板の内部の歪み・応力、および、反り量を計算するエクセルシートを作成しまし...
構造力学 Timoshenko のバイメタル変形理論
Timoshenko のバイメタルの変形に関する式の導出をまとめました。また本理論に基づいて膜と基板の線膨張係数差による界面のミスフィット歪みによる材料中の歪み・応力・反りを計算するエクセルシートを作成しました。※こちらの記事にオンライン計...
構造力学 初等梁理論（Elementary Beam Theory）
ベルヌーイ・オイラーの仮定に基づく初等梁理論による軸力と曲げモーメントが働いている梁の歪み・応力の式の導出をまとめました。ベルヌーイ・オイラーの仮定平面保持：梁の軸線に垂直な断面は曲がった後も平面のまま変化しない法線保持：梁の軸線に垂直な断...
数式処理 [Windows版] Maxima のインストール
Maxima のウェブサイトからインストーラーをダウンロードしてインストールします。
真空工学 理想気体の状態方程式
理想気体の状態方程式についてまとめました。理想気体以下の仮定を満たし理想気体の状態方程式に従う気体のことを指します。分子自身の体積を無視分子間力を無視（弾性衝突のみ）一方、現実の気体は実在気体と呼ばれ、これらの仮定を満たしませんが、高温・低...
ANSYS Student [ANSYS Fluent] 多成分ガス流解析用 境界条件入力ファイルを作成する Excel プログラム
ANSYS Fluent による CVD/ALD などの半導体プロセスを想定した非定常ガス流解析向けに、プロセスレシピに基づいて質量流量と各ガス化学種の質量分率の時間変化を記述した境界条件入力ファイルを出力する Excel プログラムを作成...
真空工学 真空工学で使われる圧力と流量の単位
真空工学や半導体プロセスで使われる圧力と流量の単位についてのまとめてみました。また圧力と流量の単位換算を行う Excel シート を作成しました。※こちらの記事にオンライン計算ツールを公開しました。圧力Pa1 平方メートルあたり 1 N が...
真空工学 平均自由行程を計算する Excel プログラム
ガス分子の分子量・分子直径のデータから平均自由行程、平均分子速度、衝突頻度、および Kn 数を計算する Excel プログラムを作成してみました。VBA のイベント処理で計算するようにしています。またユーザーがガス分子のデータを追加・変更す...
真空工学 真空工学の参考文献
真空工学を学習するにあたり参考になる日本語のウェブサイト、論文、教科書、学会と論文誌、をまとめてみました。ウェブサイトVacuum Technology (Takagi Ikuji)京都大学の高木先生のサイトです。真空に関してまとまったサイ...