オンライン Stoney の式計算ツール（Stoney Equation Calculator）

Stoney の式を使用してウェハ反り量から膜応力を求める計算、逆に、膜応力からウェハ反り量を求める計算を行うツールを ChatGPT に作ってもらいました。

Stoney Equation Calculator

Film

Thickness tf [μm]

Substrate

Material

Young Modulus Es [GPa]

Poisson Ratio νs

Thickness ts [μm]

Diameter Ls [mm]

1. Calculate Film Stress from Wafer Warpage

Wafer Warpage δ [μm]

Radius of Curvature R [m]

—

Film Stress σf [MPa]

—

2. Calculate Wafer Warpage from Film Stress

Film Stress σf [MPa]

Radius of Curvature R [m]

—

Wafer Warpage δ [μm]

—