真空工学の参考文献

真空工学を学習するにあたり参考になる日本語のウェブサイト、論文、教科書、学会と論文誌、をまとめてみました。

ウェブサイト

• Vacuum Technology (Takagi Ikuji)
  京都大学の高木先生のサイトです。真空に関してまとまったサイトが少ないためか、昔から “真空 コンダクタンス” などのキーワードでググると上の方に出てきていました。なんと、”last update 2001.12.13″ です。ぜひこのまま残して頂きたいです。

論文

2013年に J. Vac. Soc. Jpn. 誌 に掲載された「真空基礎講座」に真空工学に関する基礎的かつ重要な事項が分かりやすくコンパクトにまとまっています。無料で入手可能です。

• 荒川 一郎, “真空基礎講座掲載にあたって”, J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 198
• 松田 七美男, “気体分子運動論の基礎”, J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 199
• 福谷 克之, “真空と表面”, J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 204
• 湯山 純平, 末次 祐介, “排気と真空ポンプ”, J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 210
• 秋道 斉, “種々の真空計とそれぞれの計測原理”, J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 220

教科書

• 真空技術基礎講習会運営委員会 編, わかりやすい真空技術 第３版, 2010, 日刊工業新聞社
  近年も重版・増刷が続いており、講習会のテキストにも使用されているようです。この分野に関連する方は一冊持っていると良いかもしれません。

学会

日本の真空工学関連の学会とその論文誌です。

• 公益社団法人 日本表面真空学会
  2018年4月に日本表面科学会と日本真空学会の合併により設立された
• 一般社団法人日本真空学会
  2018年4月に日本表面科学会に吸収合弁された
• 表面と真空（Vacuum and Surface Science）
  2018年から日本表面真空学会が発行する学術論文誌
• Journal of the Vacuum Society of Japan
  2017年まで一般社団法人 日本真空学会が発行していた学術論文誌