構造力学

Stoney の式 を使用してウェハ反り量から膜応力を求める計算、逆に、膜応力からウェハ反り量を求める計算を行うツールを ChatGPT に作ってもらいました。 Stoney Equation Calculator .stoney-calc...

Timoshenko 理論に基づくバイメタル変形を計算する HTML + CSS + JavaScript プログラムを再びChatGPT に作成してもらいました。使い方は以下の通りです。膜と基板の材料をプルダウンから選択するとヤング率・ポ...

弾性体のフックの法則についてのまとめです。一般化されたフックの法則 (Generalized Hooke's law)応力成分が歪み成分の１次関数となる一般的な線形弾性材料の構成則は以下の一般化されたフックの法則で表されます。\応力テンソル...

こちらの記事 では Timoshenko のバイメタルの変形に関する式が、４つの条件、(1) 膜と基板の曲率が同じ、(2) 界面での歪みが連続、(3) 軸力のつり合い、(4) モーメントのつり合い、から求められることをまとめました。ここでは...

半導体基板の反りの測定値から膜応力を求めるのによく使用される Stoney の式の導出をまとめました。また本理論に基づいて界面にミスフィット歪み（真性歪み）のある膜と基板の内部の歪み・応力、および、反り量を計算するエクセルシートを作成しまし...

Timoshenko のバイメタルの変形に関する式の導出をまとめました。また本理論に基づいて膜と基板の線膨張係数差による界面のミスフィット歪みによる材料中の歪み・応力・反りを計算するエクセルシートを作成しました。※こちらの記事にオンライン計...

ベルヌーイ・オイラーの仮定に基づく初等梁理論による軸力と曲げモーメントが働いている梁の歪み・応力の式の導出をまとめました。ベルヌーイ・オイラーの仮定平面保持：梁の軸線に垂直な断面は曲がった後も平面のまま変化しない法線保持：梁の軸線に垂直な断...