真空工学

真空工学

オンライン(圧力・流量)単位変換計算機(Pressure and Flow Rate Unit Converter)

圧力と流量の単位変換を行う(HTML+CSS+JavaScript)プログラムを、オンライン平均自由行程計算機 に続いて ChatGPT に作ってもらいました。 圧力単位変換計算機 .pressure-converter { font-fa...
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オンライン 平均自由行程計算機(Mean Free Path Calculator)

ガス分子を選択し(または分子直径を直接入力)、圧力、温度、代表寸法を入力すると平均自由行程とクヌーセン数をオンラインで計算してくれる JavaScript プログラムを ChatGPT に作ってもらいました。 平均自由行程とクヌーセン数計算...
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理想気体の状態方程式

理想気体の状態方程式についてまとめました。理想気体以下の仮定を満たし理想気体の状態方程式に従う気体のことを指します。分子自身の体積を無視分子間力を無視(弾性衝突のみ)一方、現実の気体は実在気体と呼ばれ、これらの仮定を満たしませんが、高温・低...
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真空工学で使われる圧力と流量の単位

真空工学や半導体プロセスで使われる圧力と流量の単位についてのまとめてみました。また圧力と流量の単位換算を行う Excel シート を作成しました。※こちらの記事にオンライン計算ツールを公開しました。圧力Pa1 平方メートルあたり 1 N が...
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平均自由行程を計算する Excel プログラム

ガス分子の分子量・分子直径のデータから平均自由行程、平均分子速度、衝突頻度、および Kn 数を計算する Excel プログラムを作成してみました。VBA のイベント処理で計算するようにしています。またユーザーがガス分子のデータを追加・変更す...
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真空工学の参考文献

真空工学を学習するにあたり参考になる日本語のウェブサイト、論文、教科書、学会と論文誌、をまとめてみました。ウェブサイトVacuum Technology (Takagi Ikuji)京都大学の高木先生のサイトです。真空に関してまとまったサイ...